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光斑分析儀的典型應用:場鏡-微納加工設備光斑監(jiān)測

典型應用 場鏡-微納加工設備光斑監(jiān)測

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針對小光斑,相機直接檢測無法觀察到細節(jié),無法進行評價,光斑放大分析裝置將光斑進行無損放大從而評價光斑,如下圖所示:

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縮略圖.png

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光研科技推出的微焦點檢測光斑分析產品,其最小可測直徑1um聚焦光斑,產品硬件由傳感器、對焦平臺、物鏡、衰減系統組成,靈活的模塊化組合,滿足客戶設備集成需求。

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產品型號

N0307-X10

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產品圖.png

傳感器類型

CMOS、InGaAs、氧化釩、Phosphor、Quantum Dot

供電及接口

USB 3.0或GigE

檢測波段

(任選一種)

D:190~300nm/U:343~355nm/

G:515~532nm/V:400-800nm

N:900~1100nm /S:1100~1700nm

L:8~14μm

聚焦光斑測量

0.5um-700um

數值孔徑

0.85

最大測量功率

10W(UV)~50W@(IR)

放大倍率

2/5/10/20/50/100倍可選

外形尺寸

長*寬*高

:200*65*130mm

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應用圖.png

場鏡-微納加工設備光斑監(jiān)測

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